常见的真空泵种类有哪(nǎ)些(xiē)?


发布时间:

2022-07-08

真空泵种(zhǒng)类有很多,按工(gōng)作原理可以分为:气体(tǐ)输送泵和(hé)气体捕集泵;按真空度可以分为:粗真(zhēn)空度、高真空度和超高真空度。按工作原理分:一、气体输送泵(bèng):1、变容真空泵1)往复式(shì)2)旋(xuán)片式: (1)油封式:旋片、滑阀式、定片式、余摆线式、多室旋片式; (2)干式螺杆; (3)液环式; (4)罗茨真(zhēn)空泵;2、动量(liàng)传输(shū)泵1)分(fèn)子真空泵(bèng):牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子泵;2)喷射(shè)真空泵:液体(tǐ)喷射(shè)真空泵、气体喷射真空泵、蒸汽(qì)喷射真(zhēn)空泵;3)扩散(sàn)泵:自净化扩散泵、分馏式扩散泵;4)扩散喷射泵;5)离子输运(yùn)泵;二(èr)、气体捕集泵1、吸附泵;2、吸气剂(jì)泵;3、吸气剂离子泵:蒸发离子泵、溅射离子泵;4、低温泵;

常见的(de)真空泵种(zhǒng)类(lèi)有哪些?

真空(kōng)泵种类有很多,按工作原(yuán)理可以分为:气体输送泵和气体捕集泵;按真空度可以分为:粗真空度、高真空度和超高真空度(dù)。

按工作原理分:

一、气体输送泵:

1、变容真空泵

1)往复式

2)旋片式:
(1)油封式:旋片、滑阀式(shì)、定片式、余摆线式、多(duō)室旋片式;
(2)干式螺杆;
(3)液环式;
(4)罗(luó)茨真(zhēn)空泵;

2、动量传输泵

1)分子真空泵:牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子(zǐ)泵;

2)喷射真空泵:液体喷射(shè)真空(kōng)泵、气(qì)体喷射真空泵、蒸汽喷射真空泵;

3)扩散泵(bèng):自净(jìng)化扩散泵(bèng)、分馏式扩散泵;

4)扩散喷射泵;

5)离子输运泵;

二、气体捕集泵

1、吸附(fù)泵(bèng);

2、吸气剂泵;

3、吸气剂离子泵:蒸发离子泵、溅射离子泵(bèng);

4、低温泵;

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